超純水（簡稱RO）是膜分離技術的一種。其原理是：用足夠的壓力使溶液中的溶劑（通常指水）通過反滲透膜分離出水，因它的運行與自然界的正常滲透過程相反，故稱反滲透（或稱逆滲透）。隨著膜技術的發(fā)展，膜性能不斷提高，反滲透技術將發(fā)展成為進行分離、分級、提純和富集的化工分離新技術。于莜

電子行業(yè)超純水設備適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計算機硬盤、線路板等工藝所需的純水和超純水制備。采用世界上進的反滲透膜元件。壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設備及后處理設備，使產(chǎn)品出水符合各類電子行業(yè)生產(chǎn)標準的超純水?？刂葡到y(tǒng)選用PLC程序控制，可實現(xiàn)自動起停、加藥及沖洗，自動監(jiān)測各種運行參數(shù)，并可實現(xiàn)運行參數(shù)的儲存及打印廣泛適用于： 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路 LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管 超純材料和超純化學試劑光導纖維、光盤等。

隨著膜分離技術的不斷成熟，現(xiàn)在常常采用反滲透過濾工藝，或者是采用一級反滲透后面再經(jīng)過離子交換混床（或電去離子edi）工藝來制取超純水。

應用領域：

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路

2、lcd、lc、pdp、tft、玻殼和顯像管

3、汽車、家電表面電泳漆清洗用水及其它高科技精密產(chǎn)品實驗室和中試車間

水質(zhì)標準：

符合美國(astm標準，電子部超純水水質(zhì)標準（18mω*cm，15mω*cm，2mω*cm和0.5mω*cm四級

工藝流程：

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第1級反滲透 →ph調(diào)節(jié)→中間水箱→第2級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

3、采用edi方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→edi系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

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